超音波流量計 定流量控制 FC-7000 Series
應用於純水,藥液或高腐蝕性液體流量控制(Close-loop control )。
CMP 機台slurry 流量控制。
產品特點:
- 採用Stepping Motor元件精準控制閥體開度。
- Slurry 量測控制採用Pitch valve 設計,無堵塞現象。
- 流量控制範圍:Min 0 ~ 25 cc/min,Max. 0 ~ 8000 ml/min 。
- LCD 顯示,15 段線性補償功能。
- DSP 數位信號處理,具抗氣泡功能。
- 可接受外部信號(DC 4-20mA 、DC 0-10V 、接點啟動信號)做流量設定控制。
- 4 ~ 20 mA 或 0 ~ 10 V,Total Pulse,Alarm x 2 Point信號輸出。
- 精確度:+/- 1.0% R.D.