超音波流量計
TOKYO KEISO
UCUF-M
Sensor Unit
超音波流量計
產品介紹
超音波流量計 UCUF Series / Sensor UCUF-04M
應用於純水，藥液或高腐蝕性液體流量量測。
全NEW PFA結構，耐腐蝕性高，可應用CMP機台量測Slurry。
1/4” 管徑設計適用於大部分半導體機台使用。
產品特點：
量測範圍 ：Min : 0 ～ 100mL/Min ,最大0 ～ 2000 mL/Min
高精確度 ：+/-1 %R.D.
接續口徑 ：1/4”
材質 ：接液部 PFA
電纜信號接頭：BNC 或SMB
須搭配 SFC-720 / SFC780 Converter 使用。
