超音波流量計定流量控制

FC-7000 Series 超音波流量計定流量控制

TOKYO KEISO

FC-7000 Series
超音波流量計定流量控制


產品介紹

超音波流量計 定流量控制 FC-7000 Series

應用於純水,藥液或高腐蝕性液體流量控制(Close-loop control )。
CMP 機台slurry 流量控制。

產品特點:

 

  • 採用Stepping Motor元件精準控制閥體開度。
  • Slurry 量測控制採用Pitch valve 設計,無堵塞現象。
  • 流量控制範圍:Min 0 ~ 25 cc/min,Max. 0 ~  8000 ml/min 
  • LCD 顯示,15 段線性補償功能。
  • DSP 數位信號處理,具抗氣泡功能。
  • 可接受外部信號(DC 4-20mA 、DC 0-10V 、接點啟動信號)做流量設定控制。
  • 4 ~ 20 mA 或 0 ~ 10 V,Total Pulse,Alarm x 2 Point信號輸出。  
  • 精確度:+/- 1.0% R.D.

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