超音波流量計 定流量控制 CLFC Series
應用於純水,藥液或高腐蝕性液體流量控制(Close-loop control )。
CMP 機台slurry 流量控制。
Compact 設計。
產品特點:
- 採用Stepping Motor元件精準控制閥體開度。
- Slurry 量測控制採用Pitch valve 設計,無堵塞現象。
- 流量控制範圍:Min 0 ~ 50 cc/min,Max. 0 ~ 2000 ml/min。
- 1/4” 或3/8” 接續口徑。
- LED 顯示,DSP 數位信號處理,具抗氣泡功能,PID 參數控制。
- 可接受外部信號(DC 4-20mA 、DC 0-10V 、接點啟動信號)做流量設定控制。
- 4 ~ 20 mA 或 0 ~ 10 V , Total Pulse , Alarm x 2 Point信號輸出。
- 精確度:+/- 1.0% R.D.