| 泰勒•哈伯森 Taylor Hobson
《表面粗度測量系列》 |
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│Talysurf CCI 6000白光干涉儀
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◎簡介：
隨著科技潮流,非接觸式的量測至今已被廣泛的應用在生產及研發上，而Taylor Hobson經多年的研發於2003年初推出的Talysurf
CCI 6000白光干涉儀可堪稱目前世界上精度最高功能最強的白光干涉儀，,其超高解析度的特性(0.1Å)，可以運用在量測晶圓
，微機電及拋光元件等產品的粗糙度 平面度 及膜厚分析等，而非破壞性的特性更可以有效的量測軟性物質，在邁入奈米紀元同時相信Talysurf
CCI 6000絕對是各大企業不可少的量測系統。 |
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| ◎Talysurf
CCI 6000 ： |
•解析度(Z軸) 0.01nm (0.1Å)
•量測範圍(Z軸) 100um
•量測範圍(X x Y) 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm
(依物鏡倍率不同可自由選擇)
•1024 x 1024 高解析量測點數
•受測物的反射率 0.3% - 100% (透明物亦可量測) |
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《配件及軟體》
•氣浮式防震系統已隔絕樓板震動
•隔離罩以隔離外在環境避免影響量測精度
•相容於Windows 2000及 Windows XP 系統 |
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| CCI干涉儀 |
Mirau 干涉 |
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《3D分析軟體》
•Talymap 3D & 2D 分析軟體。
•可分析項目:
粗度 平面度 波紋 膜厚 體積計算 承壓比值 等等。
•微機電尺寸計算(距離 高度 等計算)
•表面頻譜分析(FFT) |
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MEMS Sensor |
Optics
Diamond Turned& Wafer Step |
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| ◎Talysurf
CCI 6000 應用：
•MEMS
微小尺寸計算
•Silicon Wafer 表面粗度
平面度
•非球面鏡表面粗糙度
•硬碟
光碟表面組織形狀
•OLED PDP LCD 膜厚分析計算
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| 產品型錄 |
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