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STIL > 3D 共軛焦量測儀
STIL
MICROMESURE 2 掛載線光源感測器
▲可掛載NanoView, MicroView或是DeepView 感測器
▲於大面積尺寸量測可減少時間由數小時降低至數分鐘
▲應用廣泛, 包括優良的機械檢查, 表面組織, 粗度, 3D高度及厚度及尺寸..等等
▲適用機械, 玻璃, 微機電, 光學, 鐘錶, 核能以及航太等產業
▲線性光學尺, 定位精度1 µm/100 mm
▲空氣式避震墊
▲含video camera