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STIL > 線光源彩色共軛焦感測器
STIL
光學量測頭(OPTICAL PENS)
 

                 共分NANOVIEW, MICROVIEW, DEEPVIEW, WAVY, COBRA 五種款式

                                         
Model
NANOVIEW
MICROVIEW
DEEPVIEW
WAVY
COBRA
Line length (X axis)
1.34 mm
1.87 mm
4.1 mm
45.6 mm
14 mm
Depth of field :
0.11 mm
0.5 mm
2.6 mm
1.3 mm
15 mm
Points per line :
180
180
180
180
180
Spot size diameter :
3.75 µm
5.2 µm
11.5 µm
42.4 µm
38 µm
Pitch :
7.4 um
10 um
22.5 um
250um
78 um
Max slope angle :
40 °
30 °
20 °
11 °
6.5 °
Working Distance :
4.6 mm
10 mm
47.8 mm
40 mm
7 mm
Axial resolution :
0.040 µm
0.125 µm
0.800 µm
0.500 µm
2.5 µm
Accuracy :
0.12 µm
0.50 µm
5.00 µm
2.50 µm
8 µm