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NOVACAM TECHNOLOGIES > 低同調干涉儀量測原理
NOVACAM TECHNOLOGIES
低同調干涉儀量測原理
 

How low-coherence interferometry works

Principles of low-coherence interferometry

 低同調干涉儀量測原理:  

 非接觸光學量測採用低同調干涉原理,由光源發射至物件  
 並取得反射光,
如為半穿透材料樣品同時可取得上層及底
 層二反射光(如圖)。

 入射光及反射光位於同軸線上,回朔反射光經干涉條紋解
 析出軸向深度,加上測頭線性移動則可取得縱向解析,結
 合多個橫斷面完成3D 形貌。 

  

How the instrument works

干涉檢波器同時解析低同調激發光及反射光干涉條紋,組合系統區分兩類:


 
1) Time domain (TD) interferometers時域干涉儀 (型 MicroCam 3D) 
    
LED光源經由光纖分割兩道光束,一至量測物件表面,另一束光至參考掃描鏡片, 干涉檢波器同時分析低同調激發及反射光干涉
     條紋,解析計算出物件表面之軸向距離。
2) Frequency domain interferometers with swept source頻域干涉儀 (型號 MicroCam 4D)
     以fast sweeping laser source取代LED光源,參考鏡片採固定方式,干涉檢波器取得干涉條紋頻譜後利用傅立葉運算轉換
     為Time domain。

低同調干涉儀特性 
 • 不受空氣擾動及光干擾影響
 • 當光源開啟時即可取得物件表面之絕對距離

Time domain (TD) interferometers(時域干涉儀)
 • 掃描速率數KHz
 • 干涉條紋以頻率鎖碼,非常穩定及不受外在影響
 • 保持高敏感度不因掃描深度而改變

Frequency domain interferometers with swept source(頻域干涉儀) 
 • 高掃描速率可達20 KHz以上
 • 高掃描速率狀態下敏感度不變
 • 敏感度與掃描深度成反比