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FUJI ELECTRIC > 氣體分析器
FUJI ELECTRIC
ZAF 熱傳導式氣體分析儀
 

ZAF 熱傳導式氣體分析儀 

熱傳導式氣體分析儀適用於H2,Ar,He等氣體濃度的檢測

用途:
半導體設備中之H2濃度測量
氫氣產生設備中之H2濃度測定
燒結爐中之H2濃度測定
氣體生產設備中之Ar,He,CH4濃度測定
超電導設備中之He濃度測定
空氣分離設備中之Ar濃度測定

特點:
方便查看的大尺寸LCD液晶顯示,可與電腦連線通信
方便盤面安裝的結構設計,自動校正功能(選購)
可對其他氣體所造成的影響進行干擾補正(選購)
氣體濃度警報出力(選購)
上・下限警報、上・上限警報、下・下限警報出力
量測範圍切換(選購)
量測範圍比:H2,He / 1:10 , Ar,CH4,CO2 / 1:5
測定值輸出信號可線性化(選購)

主要規格:
測定成分
He、Ar、H2、CH4、CO2
測定範圍
H2 :0~3 ‥‥100%,100~90,100~80%
He :0~5 ‥‥100%,100~90,100~80%
Ar  :0~10‥‥100%,100~90,100~80%
CH4 :0~20‥‥100%,100~80%
出力信號
DC4~20mA、DC0~1V、DC0~10mV
顯示器
背光式LCD
最多4位,小數點2位
出力信號保持
手動校正、自動校正時保持校正前數值
電源電壓、消耗電力
AC100~240V 50/60Hz、約50VA
再現性
±1%FS
漂移
ZERO:±2% FS/週 以內(H2計)
Span:±2% FS/週 以內(H2計)
測定氣體條件
溫度0~50℃
氣體流量0.4±0.05L/min
灰塵0.3μm以下粒子100μg/Nm3
壓力10kPa以下
水分2飽和以下