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TOKYO KEISO
FC-7000 Series 超音波流量計 定流量控制
 

超音波流量計 定流量控制FC-7000 Series

應用於純水,藥液或高腐蝕性液體流量控制(Close-loop control )。
CMP 機台slurry 流量控制。

特性
採用Stepping Motor元件精準控制閥體開度。
Slurry 量測控制採用Pitch valve 設計,無堵塞現象。
流量控制範圍:Min 0 ~ 25 cc/min,Max. 0 ~  8000 ml/min
LCD 顯示,15 段線性補償功能。
DSP 數位信號處理,具抗氣泡功能。
可接受外部信號(DC 4-20mA 、DC 0-10V 、接點啟動信號)做流量設定控制。
4 ~ 20 mA 或 0 ~ 10 V,Total Pulse,Alarm x 2 Point信號輸出。 
精確度:+/- 1.0% R.D.