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TOKYO KEISO
UCUF-P Sensor Unit 超音波流量計
 

超音波流量計 UCUF Series / Sensor UCUF-04P

應用於純水,藥液或高腐蝕性液體流量量測。
全NEW PFA結構,耐腐蝕性高,可應用CMP機台量測Slurry。
3/8” 管徑設計適用於大部分半導體機台使用

特性
量測範圍  :Min : 0 ~ 100mL/Min ,最大0 ~ 8000 mL/Min
高精確度  :+/-1 %R.D.
接續口徑  :3/8” 。
材質    :接液部 PFA
電纜信號接頭:BNC 或SMB
須搭配 SFC-/720 / SFC780 Converter 使用