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TOKYO KEISO > 流量計
TOKYO KEISO
TH-Series 熱感式質量流量計
 

TH-SERIES 熱感式質量流量計

採用熱流原理量測氣體流量,適用於工業或半導體產業各種氣體量測。

特性
寬廣的量測範圍
高精確度、低壓力損
無任何可動部份

規格
感測器型號
TH-1100
TH-1400
外型

型式
插入式
插入式
接序口
32A法蘭
32A法蘭
測量管徑
50350A
50A350A
操作溫度
80,180,240
80,180
操作壓力
1.0 MPa
1.0 MPa
量測範圍
Max.: Air 0 - 681490NM3/h
Min.: Air 0 - 45NM3/h
Max.: Air 0 - 681490NM3/h
Min.: Air 0 - 45NM3/h
量測流體
Air,He,H2,N2,Ar,O2,CO2,NH3 etc
Air,He,H2,N2,Ar,O2,CO2,NH3 etc
材質
Body: SUS304SUS316SUS316L 
Sensor: SUS316
Seal: FPM
Body: SUS304SUS316SUS316L 
Sensor: SUS316
Seal: FPM
特殊處理
EP/BA 拋光 , 禁油處理
EP/BA 拋光 , 禁油處理

感測器型號
TH-1200
 TH-1700
TH-1800
外型
   

     
型式
管線安裝
管線安裝
管線安裝含整流器
接序口
配合管路
配合管路
配合管路
測量管徑
50A150A
15A50A
15A50A
操作溫度
80,180
80,180
80,180
操作壓力
1.0 MPa
1.0 MPa
1.0 MPa
量測範圍
Max.: Air 0 - 7360NM3/h
Min.: Air 0 - 45NM3/h
Max.: Air 0 - 14815NM3/h
Min.: Air 0 - 235NM3/h
Max.: Air 0 - 5855NM3/h
Min.: Air 0 - 105NM3/h
量測流體
Air,He,H2,N2,Ar,O2,CO2,NH3 etc
Air,He,H2,N2,Ar,O2,CO2,NH3 etc
Air,He,H2,N2,Ar,O2,CO2,NH3 etc
材質
Body: SCS14, SCS16
Sensor: SUS316
Seal: FPM
Body: SCS14, SCS16
Sensor: SUS316
Seal: FPM
Body: SCS14, SCS16
Sensor: SUS316
Seal: FPM
特殊處理
EP/BA 拋光 , 禁油處理
EP/BA 拋光 , 禁油處理
EP/BA 拋光 , 禁油處理

傳送器型號
TRX-5000
TRX-700
材質
特性
戶外型安裝
屋內盤面安裝
輸出
DC 4 - 20mA
Pulse output
Hi/Low Alarm 接點
DC 4 - 20Ma
Pulse output
Hi/Low Alarm 接點
RS-485
指示
流量及累計量
流量及累計量
功能
溫度壓力信號輸入補償
溫度壓力信號輸入補償
精確度
±2.0%F.S. ±1digit
±1.0%F.S. ±1digit