ZAF 熱傳導式氣體分析儀
熱傳導式氣體分析儀適用於H2,Ar,He等氣體濃度的檢測。
主要用途:
- 半導體設備中之H2濃度測量。
- 氫氣產生設備中之H2濃度測定。
- 燒結爐中之H2濃度測定。
- 氣體生產設備中之Ar,He,CH4濃度測定。
- 超電導設備中之He濃度測定。
- 空氣分離設備中之Ar濃度測定。
產品特點:
- 方便查看的大尺寸LCD液晶顯示,可與電腦連線通信。
- 方便盤面安裝的結構設計,自動校正功能(選購)。
- 可對其他氣體所造成的影響進行干擾補正(選購)。
- 氣體濃度警報出力(選購)。
- 上・下限警報、上・上限警報、下・下限警報出力。
- 量測範圍切換(選購)。
- 量測範圍比:H2,He / 1:10 , Ar,CH4,CO2 / 1:5。
- 測定值輸出信號可線性化(選購)。
主要規格: