How low-coherence interferometry works
Principles of low-coherence interferometry
低同調干涉儀量測原理: |
How the instrument works
干涉檢波器同時解析低同調激發光及反射光干涉條紋,組合系統區分兩類:
1) Time domain (TD) interferometers時域干涉儀 (型 MicroCam 3D)
LED光源經由光纖分割兩道光束,一至量測物件表面,另一束光至參考掃描鏡片, 干涉檢波器同時分析低同調激發及反射光干涉條紋,解析計算出物件表面之軸向距離。
2) Frequency domain interferometers with swept source頻域干涉儀 (型號 MicroCam 4D)
以fast sweeping laser source取代LED光源,參考鏡片採固定方式,干涉檢波器取得干涉條紋頻譜後利用傅立葉運算轉換Time domain。
低同調干涉儀特性
• 不受空氣擾動及光干擾影響
• 當光源開啟時即可取得物件表面之絕對距離
Time domain (TD) interferometers(時域干涉儀)
• 掃描速率數KHz
• 干涉條紋以頻率鎖碼,非常穩定及不受外在影響
• 保持高敏感度不因掃描深度而改變
Frequency domain interferometers with swept source(頻域干涉儀)
• 高掃描速率可達20 KHz以上
• 高掃描速率狀態下敏感度不變
• 敏感度與掃描深度成反比