3D 共軛焦量測儀

MICROMESURE 2掛載線光源感測器

STIL

MICROMESURE 2
掛載線光源感測器


  • 可掛載NanoView, MicroView或是DeepView 感測器
  • 於大面積尺寸量測可減少時間由數小時降低至數分鐘
  • 應用廣泛, 包括優良的機械檢查, 表面組織, 粗度, 3D高度及厚度及尺寸..等等
  • 適用機械, 玻璃, 微機電, 光學, 鐘錶, 核能以及航太等產業
  • 線性光學尺, 定位精度1 µm/100 mm
  • 空氣式避震墊
  • 含video camera

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